모델명 / 규격

마이크로 하이트 350

마이크로 하이트 600

마이크로 하이트 900

07.30033

07.30034

07.30035

측정 범위

스케일 이송 범위

365 mm

615 mm

920 mm

표준 프로브 홀더 사용

0 ~ 520 mm

0 ~ 770 mm

0 ~ 1075 mm

연장 프로브 홀더 사용

0 ~ 575 mm

0 ~ 825 mm

0 ~ 1130 mm

측정 오차 (표준 프로브 사용시)

(2 + 3 x L) um : L=M 기준, 200mm 측정시 ±2.6 um

반복 오차 ( 표준 프로브 사용시)

2σ = ≤ 1 um

직각도

정면부

7 um

9 um

11 um

IG-13 프로브 적용 정면부

6 um

8 um

10 um

최대 측정 속도

300 mm/s

측정 압력

1.6 ± 0.25 N

장비 무게

33 kg

38 kg

45 kg